Advanced Bipolar and MOS  Devices Based on Silicon Wafer-Bonding

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Advanced Bipolar and MOS Devices Based on Silicon Wafer-Bonding

著者

和文:	有本由弘, 土屋真平, 伊藤隆司.
英文:	Yoshihiro Arimoto, Shinpei Hijiya, Takashi Ito.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. 1st. Int. Symp. on Semicon. Wafer Bonding, ECS

巻, 号, ページ

pp. 414-426

出版年月

1992年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Proc. 1st. Int. Symp. on Semicon. Wafer Bonding, ECS

開催地

和文:
英文:	Phoenix