Photo-Excited Cleaning of Silicon with Chlorine and Fluorine

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Photo-Excited Cleaning of Silicon with Chlorine and Fluorine

著者

和文:	伊藤隆司, 杉野林志, 佐藤泰広, 奥野正樹, 大沢昭, 青山敬幸, 山崎辰也, 有本由弘.
英文:	Takashi Ito, Rinshi Sugino, Yasuhiro Sato, Masaki Okuno, Akira Osawa, Takayuki Aoyama, Tatsuya Yamazaki, Yoshihiro Arimoto.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	MRS Symp. Proceeding

巻, 号, ページ

出版年月

1992年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	MRS Symp. Proceeding

開催地

和文:
英文:	San Francisco