SR-Assisted Epitaxy and Surface Cleaning of Silicon

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	SR-Assisted Epitaxy and Surface Cleaning of Silicon

著者

和文:	奈良安雄, 杉田義博, 堀内敬, 伊藤隆司.
英文:	Yasuo Nara, Yoshihiro Sugita, Kei Horiuchi, Takashi Ito.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. of A Workshop on Two-dimensional Semiconductor Research using Synchrotron Radiation

巻, 号, ページ

p. 15

出版年月

1993年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Proc. of A Workshop on Two-dimensional Semiconductor Research using Synchrotron Radiation

開催地

和文:
英文:	Tokyo