Home >

news ヘルプ

論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Reliable Thin Gate Oxide Film Formed After UV Cleaning 
著者
和文: 伊藤 隆司, 杉野 林志, 佐藤 泰久.  
英文: Takashi Ito, Rinshi Sugino, Yasuhisa Sato.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Proc. 4th Int. Symp. on ULSI Sci. and Tech. 
巻, 号, ページ         p. 163
出版年月 1993年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:Proc. 4th Int. Symp. on ULSI Sci. and Tech. 
開催地
和文: 
英文:Honolulu 

©2007 Institute of Science Tokyo All rights reserved.