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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:X Ray Refractometry and Infrared Analysis of Native Oxides on Si(100) Formed in Chemical Treatment 
著者
和文: 杉田 義博, 淡路 直紀, 大久保 聡, 渡辺 悟, 小宮 聡, 伊藤 隆司.  
英文: Yoshihiro Sugita, Naoki Awaji, Satoshi Ohkubo, Satoru Watanabe, Satoshi Komiya, Takashi Ito.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Ext. Abst. of 1995 Int. Conf. on SSDM 
巻, 号, ページ         pp. 836-837
出版年月 1995年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:Ext. Abst. of 1995 Int. Conf. on SSDM 
開催地
和文: 
英文:Tokyo 

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