X Ray Refractometry and Infrared Analysis of Native Oxides on Si(100) Formed in Chemical Treatment

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	X Ray Refractometry and Infrared Analysis of Native Oxides on Si(100) Formed in Chemical Treatment

著者

和文:	杉田義博, 淡路直紀, 大久保聡, 渡辺悟, 小宮聡, 伊藤隆司.
英文:	Yoshihiro Sugita, Naoki Awaji, Satoshi Ohkubo, Satoru Watanabe, Satoshi Komiya, Takashi Ito.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Ext. Abst. of 1995 Int. Conf. on SSDM

巻, 号, ページ

pp. 836-837

出版年月

1995年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Ext. Abst. of 1995 Int. Conf. on SSDM

開催地

和文:
英文:	Tokyo