Basic Characteristics of a Multilayer Thin Electrostatic Actuator Supported by Lubricating Oil for a Fine-motion Stage

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Basic Characteristics of a Multilayer Thin Electrostatic Actuator Supported by Lubricating Oil for a Fine-motion Stage

著者

和文:	ｴﾑﾃﾞｨｶﾞｻﾞﾘﾏﾘｱﾑ, 佐藤海二.
英文:	Mariam Md Ghazaly, Kaiji Sato.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Precision Engineering

巻, 号, ページ

Vol. 36 No. 1 pp. 77-83

出版年月

2012年1月

出版者

和文:
英文:	Elsevier

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI