Evaluation of a Multilayer Electrostatic Actuator for a Fine Motion Stage without Precise Balls for Lubrication

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Evaluation of a Multilayer Electrostatic Actuator for a Fine Motion Stage without Precise Balls for Lubrication

著者

和文:	Mariam Md Ghazaly, 佐藤海二.
英文:	Mariam Md Ghazaly, Kaiji Sato.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of the 6th International Conference on Micromanufacturing (ICOMM2011)

巻, 号, ページ

pp. 577-581

出版年月

2011年3月

出版者

和文:
英文:	Committees of ICOMM - 2011

会議名称

和文:
英文:	The 6th International Conference on MicroManufacturing (ICOMM 2011)

開催地

和文:	東京
英文:	Tokyo

公式リンク