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論文・著書情報


タイトル
和文:多層構造静電アクチュエータの摩擦特性切換え機能と超精密位置決め 
英文: 
著者
和文: 佐藤海二, Mariam Md Ghazaly.  
英文: KAIJI SATO, mariam ghazaly.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:2012年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 275-276
出版年月 2012年3月 
出版者
和文:精密工学会 
英文:The Japan Society for Precision Engineering 
会議名称
和文:2012年度精密工学会春季大会学術講演会 
英文: 
開催地
和文:東京都 
英文: 

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