Development of MEMS-based ECF micro rate gyroscopes with the micro hydraulic power source and flow sensor in a chip

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Development of MEMS-based ECF micro rate gyroscopes with the micro hydraulic power source and flow sensor in a chip

著者

和文:	グェンヴィンソンタン, 今村恒彦, 金俊完, 横田眞一, 枝村一弥.
英文:	Vinh Xuan Thanh Nguyen, Tsunehiko Imamura, Joon-wan Kim, Shinichi Yokota, Kazuya Edamura.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2011年12月1日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	15th International Conference on Mechatronics Technology (ICMT2011)

開催地

和文:
英文:	Melbourne