Planar Solenoidal Inductor in Radio Frequency Micro-Electro-Mechanical Systems Technology for Variable Inductor with Wide Tunable Range and High Quality Factor

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Planar Solenoidal Inductor in Radio Frequency Micro-Electro-Mechanical Systems Technology for Variable Inductor with Wide Tunable Range and High Quality Factor

著者

和文:	白根篤史, 伊藤浩之, 石原昇, 益一哉.
英文:	Atsushi Shirane, Hiroyuki Ito, Noboru Ishihara, Kazuya Masu.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 51 p. 05EE02

出版年月

2012年5月21日

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI