AlInAs Selective Oxidation for GaInAsP/Si Hybrid Semiconductor Laserusing Surface Activated Bonding

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	AlInAs Selective Oxidation for GaInAsP/Si Hybrid Semiconductor Laserusing Surface Activated Bonding

著者

和文:	林侑介, 長部亮, 福田渓太, 西山伸彦, 荒井滋久.
英文:	Yusuke HAYASHI, Ryo OSABE, Keita FUKUDA, Nobuhiko NISHIYAMA, Shigehisa ARAI..

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. 93-94

出版年月

2012年5月22日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2012 3rd IEEE International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration

開催地

和文:
英文:	Tokyo