In-Plane Grain Orientation Alignment of Polycrystalline Silicon Films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	In-Plane Grain Orientation Alignment of Polycrystalline Silicon Films

著者

和文:	中島安理, 黒木伸一郎, 藤井俊太朗, 伊藤隆司.
英文:	Anri Nakajima, Shin-Ichiro Kuroki, Shuntaro Fujii, Takashi Ito.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn. J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 51 pp. 1-4

出版年月

2012年4月20日

出版者

和文:
英文:	The Japanese Journal of Applied Physics

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: