Evaluation of anisotropic structure in electrodeposited Ni film using micro-sized cantilever

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Evaluation of anisotropic structure in electrodeposited Ni film using micro-sized cantilever

著者

和文:	今村洋仁, 名越貴志, 吉田暁海理, TSO-FU MARK CHANG, 尾中晋, 曽根正人.
英文:	Hirohito Imamura, Takashi Nagoshi, Akari Yoshida, Tso-Fu Mark Chang, Susumu Onaka, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Microelectronic Engineering.

巻, 号, ページ

Vol. 100 No. C pp. 25-27

出版年月

2012年10月12日

出版者

和文:
英文:	Elsevier

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI