Non-contact prove method of ferroelectric property estimation of PbTiO3 based films for micro electro mechanical systems

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Non-contact prove method of ferroelectric property estimation of PbTiO3 based films for micro electro mechanical systems

著者

和文:	江原祥隆, 宇津木覚, 中島光雅, Mohamed Tahar Chentir, 山田智明, 飯島高志, 西田謙, Takashi Yamamoto, 舟窪浩.
英文:	Yoshitaka Ehara, Satoru Utsugi, Mitsumasa Nakajima, Mohamed Tahar Chentir, Tomoaki Yamada, Takashi Iijima, Ken Nishida, Takashi Yamamoto, Hiroshi Funakubo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Mater. Res.

巻, 号, ページ

Vol. 27 No. 11 pp. 1430-1435

出版年月

2012年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI