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論文・著書情報


タイトル
和文:超臨界二酸化炭素を利用したマイクロマテリアルの精密成形 （招待講演） 
英文: 
著者
和文: 曽根正人.  
英文: Masato Sone.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2012年10月23日 
出版者
和文:電気学会 センサ・マイクロマシン部門 
英文: 
会議名称
和文:第２９回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 「機能性材料と新機能デバイスの可能性」 
英文: 
開催地
和文:福岡県北九州市 
英文: 

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