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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Microfabrication of Si and GaAs by Plasma Etching Process Using Bacterial Cells as an Etching Mask Material 
著者
和文: 松谷晃宏, 高田綾子.  
英文: Akihiro Matsutani, Ayako Takada.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Japanese Journal of Applied Physics 
巻, 号, ページ Vol. 51        p. 087001
出版年月 2012年8月 
出版者
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会議名称
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開催地
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DOI https://doi.org/10.1143/JJAP.51.087001

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