シルセスキオキサン含有ブロック共重合体による新しい自己組織化リソグラフィ材料の開発 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	シルセスキオキサン含有ブロック共重合体による新しい自己組織化リソグラフィ材料の開発
英文:

著者

和文:	早川晃鏡.
英文:	Teruaki Hayakawa.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	ネットワークポリマー
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 32 No. 5 pp. 268-274

出版年月

2011年5月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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英文:

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