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論文・著書情報


タイトル
和文:パルスプラズマCVD法により成膜したDLC膜のマクロ欠陥検出 
英文: 
著者
和文: 櫻田 悠一, 高島 舞, 赤坂 大樹, 岩本 喜直, 松尾 誠, 大竹 尚登.  
英文: Yuichi Sakurada, Mai Takashima, Hiroki Akasaka, yoshinao iwamoto, 松尾 誠, NAOTO OHTAKE.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:2012年度精密工学会秋季大会学術講演会 
英文: 
巻, 号, ページ CD-ROM       
出版年月 2012年9月14日 
出版者
和文:精密工学会 
英文: 
会議名称
和文:2012年度精密工学会秋季大会学術講演会 
英文: 
開催地
和文:北九州市 
英文: 

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