Investigation of Friction Properties of Mg-Doped Amorphous Carbon Films Deposited in Electron Beam Excited Plasma

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Investigation of Friction Properties of Mg-Doped Amorphous Carbon Films Deposited in Electron Beam Excited Plasma

著者

和文:	バーエズタガビハメド, 平田敦.
英文:	Hamed Vaez-Taghavi, ATSUSHI HIRATA.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Abstracts of International Union of Materials Research Societies – International Conference on Electronic Materials 2012

巻, 号, ページ

p. B-8-024-010

出版年月

2012年9月23日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	International Union of Materials Research Societies – International Conference on Electronic Materials 2012

開催地

和文:	横浜市
英文: