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タイトル
和文:セグメント構造ダイヤモンド状炭素膜を摩擦駆動面に用いた弾性表面波リニアモータ(第3報）－犠牲層を用いたS-DLC膜の生成方法と駆動実験－ 
英文: 
著者
和文: 石川雄也, 中村満, 高崎正也, 高島舞, 大竹尚登, 水野毅.  
英文: 石川雄也, 中村満, Masaya Takasaki, Mai Takashima, NAOTO OHTAKE, 水野毅.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:精密工学会会誌 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 78    No. 8    pp. 695-699
出版年月 2012年8月 
出版者
和文:公益社団法人精密工学会 
英文: 
会議名称
和文: 
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開催地
和文: 
英文: 

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