Microfabrication of Si based Microchannel for Transport of Bacterial Cells by Ar/F2 Vapor Etching and Cl2 Inductively Coupled Plasma Etching

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Microfabrication of Si based Microchannel for Transport of Bacterial Cells by Ar/F2 Vapor Etching and Cl2 Inductively Coupled Plasma Etching

著者

和文:	松谷晃宏, Hideo Ohtsuki, 高田綾子.
英文:	Akihiro matsutani, Hideo Ohtsuki, Ayako Takada.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2012年10月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	11th APCPST

開催地

和文:
英文:	Kyoto