Effect of Excimer Laser Fluence Gradient on Lateral Grain Growth in Crystallization of a-Si Thin Films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of Excimer Laser Fluence Gradient on Lateral Grain Growth in Crystallization of a-Si Thin Films

著者

和文:	波多野睦子.
英文:	Mutsuko Hatano.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

88-93

出版年月

2000年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2000 Materials Research Society Spring Meeting, Flat-panel displays and sensors principles, materials and processes

開催地

和文:
英文:	San Francisco