A Multi-Physics Simulation Technique for Integrated MEMS

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Multi-Physics Simulation Technique for Integrated MEMS

著者

和文:	年吉洋, 小西敏文, 町田克之, 益一哉.
英文:	Hiroshi Toshiyoshi, Toshifumi Konishi, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2012年12月10日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2012 IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM 2012)

開催地

和文:
英文:	San Francisco, CA

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