Rare Earth Oxide Capping Effect on La2O3 Gate Dielectrics for Equivalent Oxide Thickness Scaling toward 0.5nm

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Rare Earth Oxide Capping Effect on La2O3 Gate Dielectrics for Equivalent Oxide Thickness Scaling toward 0.5nm

著者

和文:	幸田みゆき, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋.
英文:	Miyuki Kouda, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 50 No. 10 pp. 10PA04-1-4

出版年月

2011年10月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: