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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Micro dry etching process for vertical cavity surface emitting lasers 
著者
和文: 松谷 晃宏, 小山 二三夫, 伊賀 健一.  
英文: A. Matsutani, F. Koyama, K. Iga.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ vol. 10    227    pp. 112-115
出版年月 1991年12月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:AmE．an Vacuum Society Series, APCT'91 
開催地
和文: 
英文:Sand Key 

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