Covalent Nature in La-Silicate Gate Dielectrics for Oxygen Vacancy Removal2

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Covalent Nature in La-Silicate Gate Dielectrics for Oxygen Vacancy Removal2

著者

和文:	川那子高暢, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋.
英文:	Takamasa Kawanago, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, KAZUO TSUTSUI, 西山彰, Nobuyuki Sugii, KENJI NATORI, takeo hattori, HIROSHI IWAI.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS

巻, 号, ページ

Vol. 33 No. 3 pp. 423-425

出版年月

2012年3月

出版者

和文:
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会議名称

和文:
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開催地

和文:
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DOI