A Study on Excitation Kinetics of Low-Pressure Discharge Oxygen Plasma

論文・著書情報

タイトル

和文:	低気圧放電酸素プラズマ中の励起状態密度分布の研究
英文:	A Study on Excitation Kinetics of Low-Pressure Discharge Oxygen Plasma

著者

和文:	今野潤哉, 根津篤, 松浦治明, 赤塚洋.
英文:	Junya Konno, Atsushi Nezu, Haruaki Matsuura, Hiroshi Akatsuka.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	第30回プラズマプロセシング研究会 - プロシーディングス
英文:	Proceedings - 30th Symposium on Plasma Processing

巻, 号, ページ

pp. 151-152

出版年月

2013年1月21日

出版者

和文:	公益社団法人応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
英文:	Division of Plasma Electronics, The Japan Society of Applied Physics

会議名称

和文:	第30回プラズマプロセシング研究会
英文:	30th Symposium on Plasma Processing

開催地

和文:	浜松
英文:	Hamamatsu