Electrical Properties of CeO2/La2O3 Stacked Gate Dielectrics Fabricated by Chemical Vapor Deposition and Atomic Layer Deposition

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Electrical Properties of CeO2/La2O3 Stacked Gate Dielectrics Fabricated by Chemical Vapor Deposition and Atomic Layer Deposition

著者

和文:	幸田みゆき, 鈴木拓也, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 岩井洋, 安田哲二.
英文:	Miyuki Kouda, 鈴木拓也, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, HIROSHI IWAI, 安田哲二.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 51 pp. 121101-1-121101-5,

出版年月

2012年12月

出版者

和文:
英文:

会議名称

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英文:

開催地

和文:
英文: