High-Speed Drilling Through-Holes in Borosilicate Glass Substrate by High-Peak-Power CO2 Laser

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	High-Speed Drilling Through-Holes in Borosilicate Glass Substrate by High-Peak-Power CO2 Laser

著者

和文:	Tomotaka Katsura, Reona Nakamura, Shinichi Fujikawa, Takuji Magara, 稲川貴大, 青野祐子, 戸倉和.
英文:	Tomotaka Katsura, Reona Nakamura, Shinichi Fujikawa, Takuji Magara, Takahiro Inagawa, Yuko Aono, Hitoshi Tokura.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2012年11月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	2nd Annual IEEE Global Interposer Technology Workshop 2012

開催地

和文:	Atlanta
英文: