RIBE micro-fabrication of semiconductor photonic devices for micro-photonic integrated circuit

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	RIBE micro-fabrication of semiconductor photonic devices for micro-photonic integrated circuit

著者

和文:	小山二三夫, S. Mitsugi, J. Kato, 松谷晃宏, K. Suzuki, T. Mukaihara, 伊賀健一.
英文:	F. Koyama, S. Mitsugi, J. Kato, A. Matsutani, K. Suzuki, T. Mukaihara, K. Iga.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

IO5.2

出版年月

1994年11月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	IEEE Lasers and Electro-Optics Society 1994 Annual Meeting, LEOS'94

開催地

和文:
英文:	Boston