Compliant electrostatic chuck based on hairy microstructure

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Compliant electrostatic chuck based on hairy microstructure

著者

和文:	齋藤滋規, 早田史明, RADONDHELIKA, 高橋邦夫, 宝田亘, 鞠谷雄士.
英文:	Shigeki SAITO, Fumiaki Soda, Radon Dhelika, KUNIO TAKAHASHI, wataru takarada, TAKESHI KIKUTANI.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Smart Materials and Structures

巻, 号, ページ

Vol. 22 pp. 015019(1-6)

出版年月

2012年12月17日

出版者

和文:
英文:	IOP Publiching

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI