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論文・著書情報


タイトル
和文:プラズマCVDによるシリコンナノ粒子合成：収率，粒径分布，結晶性の最適化 
英文: 
著者
和文: 山田陸, Ryan Gresback, 丁 毅, 岡崎健, 野崎智洋.  
英文: Riku Yamada, Ryan Gresback, Yi Ding, 岡崎健, TOMOHIRO NOZAKI.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:日本機械学会論文集Ｂ編 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 79    No. 804    pp. 1616-1623
出版年月 2013年7月1日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 
DOI https://doi.org/10.1299/kikaib.79.1616

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