低気圧放電窒素プラズマの発光分光計測〜温度計測と解離度測定の新展開

論文・著書情報

タイトル

和文:	低気圧放電窒素プラズマの発光分光計測〜温度計測と解離度測定の新展開
英文:	Optical Emission Spectroscopic Measurement of Low-Pressure Discharge Nitrogen Plasma — Recent Development of Temperature and Dissociation Degree Measurement

著者

和文:	赤塚洋.
英文:	Hiroshi Akatsuka.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	Sputtering & Plasma Prosesses
英文:	Sputtering & Plasma Prosesses

巻, 号, ページ

Vol. 28 No. 1 pp. 11-20

出版年月

2013年3月14日

出版者

和文:	一般社団法人日本真空学会
英文:	The Vacuum Society of Japan

会議名称

和文:	スパッタリング及びプラズマプロセス技術部会(SP部会)第132回定例研究会テーマ:「プラズマ計測・診断の最前線」
英文:	The 132nd regular research meeting of Sputtering and Plasma Process Sub-Division, the Vacuum Society of Japan

開催地

和文:	東京
英文:	Tokyo