減圧マイクロ波放電水素プラズマの分子回転温度計測とガス温度の推定

論文・著書情報

タイトル

和文:	減圧マイクロ波放電水素プラズマの分子回転温度計測とガス温度の推定
英文:	OES Measurement of Molecular Rotational Temperature and Estimation of Gas Temperature of a Low-Pressure Microwave Discharge Hydrogen Plasma

著者

和文:	赤塚洋, 清水良浩, 根津篤, 松浦治明.
英文:	Hiroshi Akatsuka, Yoshihiro Shimizu, Atsushi Nezu, Haruaki Matsuura.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	平成25年電気学会全国大会講演論文集
英文:	2013 Annual Meeting Record, IEE Japan

巻, 号, ページ

Vol. 1 p. 208

出版年月

2013年3月5日

出版者

和文:	一般社団法人電気学会
英文:	The Institute of Electrical Engineers of Japan

会議名称

和文:	平成25年電気学会全国大会
英文:	2013 Annual Meeting, IEE Japan

開催地

和文:	名古屋
英文:	Nagoya