High Performance ECF Micropump by the 3D Integration of MEMS-fabricated Eectrodes

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	High Performance ECF Micropump by the 3D Integration of MEMS-fabricated Eectrodes

著者

和文:	金俊完, 山田嘉穂, 横田眞一, 枝村一弥.
英文:	Joon-wan Kim, Yoshiho Yamada, Shinichi Yokota, Kazuya Edamura.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of the Eighth International Conference on Fluid Power Transmission and Control (ICFP 2013)

巻, 号, ページ

pp. 68-72

出版年月

2013年4月8日

出版者

和文:
英文:	World Publishing Corporation

会議名称

和文:
英文:	The 8th International Conference on Fluid Power Transmission and Control (ICFP 2013)

開催地

和文:	杭州市
英文:	Hangzhou city