圧電素子を用いた小型半球チルトステージの開発 -第1報: 設計と試作及び微動傾斜の評価-

論文・著書情報

タイトル

和文:	圧電素子を用いた小型半球チルトステージの開発 -第1報: 設計と試作及び微動傾斜の評価-
英文:

著者

和文:	平田慎之介, 滝澤将人, 白取寛章, 入江優花, 金森哉吏, 青山尚之.
英文:	Shinnosuke Hirata, Masato Takizawa, Hiroaki Shiratori, Yuuka Irie, Chisato Kanamori, Hisayuki Aoyama.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	精密工学会誌
英文:	Journal of the Japan Society of Precision Engineering

巻, 号, ページ

Vol. 78 No. 1 pp. 92-97

出版年月

2012年1月1日

出版者

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会議名称

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開催地

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