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論文・著書情報


タイトル
和文:VHFプラズマにより作製したナノ結晶シリコンのフッ硝酸による粒径縮小 
英文: 
著者
和文: 近藤信啓, 染野健, 中峯嘉文, 宇佐美浩一, 小寺哲夫, 河野行雄, 小田俊理.  
英文: Nobuhiro Kondo, Ken Someno, Yoshifumi Nakamine, kouichi usami, Tetsuo Kodera, Yukio Kawano, SHUNRI ODA.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2012年9月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:2012年 秋季 第73回応用物理学会学術講演会 
英文: 
開催地
和文:愛媛県松山市 
英文: 

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