Characteristic switching of a multilayer thin electrostatic actuator by a driving signal for an ultra-precision motion stage

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Characteristic switching of a multilayer thin electrostatic actuator by a driving signal for an ultra-precision motion stage

著者

和文:	ｴﾑﾃﾞｨｶﾞｻﾞﾘﾏﾘｱﾑ, 佐藤海二.
英文:	Mariam Md Ghazaly, Kaiji Sato.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Precision Engineering

巻, 号, ページ

Vol. 37 No. 1 pp. 107-116

出版年月

2013年2月

出版者

和文:
英文:	Elsevier

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI