Driving Mode Control of a Multilayered Thin Electrostatic Actuator Supported by Lubricating Oil for Ultra-Precision Positioning

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Driving Mode Control of a Multilayered Thin Electrostatic Actuator Supported by Lubricating Oil for Ultra-Precision Positioning

著者

和文:	佐藤海二, マリアムエムディガザリ.
英文:	Kaiji Sato, Mariam Md Ghazaly.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. of ASPE2012

巻, 号, ページ

pp. 144-147

出版年月

2012年10月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	27th Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering

開催地

和文:	サンディエゴ
英文:	San Diego

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