Effect of Driving Signals on Motion Characteristics of Multilayer Electrostatic Actuator Supported by Only Lubricating Liquid

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of Driving Signals on Motion Characteristics of Multilayer Electrostatic Actuator Supported by Only Lubricating Liquid

著者

和文:	佐藤海二, ｴﾑﾃﾞｨｶﾞｻﾞﾘﾏﾘｱﾑ.
英文:	Kaiji Sato, Mariam Md Ghazaly.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of the 5th International Conference on Positioning Technology

巻, 号, ページ

pp. 13-14

出版年月

2012年11月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The 5th International Conference on Positioning Technology

開催地

和文:
英文:	Kaohsiung, Taiwan