潤滑液で支持された多層構造静電アクチュエータを用いた精密垂直微動ステージ

論文・著書情報

タイトル

和文:	潤滑液で支持された多層構造静電アクチュエータを用いた精密垂直微動ステージ
英文:	Precision Vertical Fine Stage Using Multilayer Electrostatic Actuator Supported by Lubricating Liquids

著者

和文:	佐藤海二, Mariam Md Ghazaly.
英文:	KAIJI SATO, Mariam Md Ghazaly.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	2012年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
英文:

巻, 号, ページ

pp. 31-32

出版年月

2012年9月

出版者

和文:	精密工学会
英文:	The Japan Society for Precision Engineering

会議名称

和文:	2012年度精密工学会秋季大会学術講演会
英文:

開催地

和文:	北九州市
英文: