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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Impact of annealing ambient for La2O3/Si capacitor 
著者
和文: K.Tuokedaerhan, 金田翼, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 西山彰, 杉井信之, 筒井一生, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋.  
英文: K.Tuokedaerhan, 金田翼, Kuniyuki KAKUSHIMA, Ahmet Parhat, Akira Nishiyama, 杉井信之, KAZUO TSUTSUI, Kenji Natori, takeo hattori, HIROSHI IWAI.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2013年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:G-COE PICE International Symposium and IEEE EDS Minicolloquium on Advanced Hybrid Nano Devices: Prospects by World’s Leading Scientists 
開催地
和文:東京 
英文: 

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