Photoluminescence of Nanocrystalline Silicon Quantum Dots with Various Sizes and Various Phosphorus Doping Concentrations prepared by Very High Frequency Plasma

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Photoluminescence of Nanocrystalline Silicon Quantum Dots with Various Sizes and Various Phosphorus Doping Concentrations prepared by Very High Frequency Plasma

著者

和文:	染野健, 宇佐美浩一, 小寺哲夫, 河野行雄, 波多野睦子, 小田俊理.
英文:	K. Someno, K. Usami, T. Kodera, Y. Kawano, M. Hatano, S. Oda.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn. J. Appl. Phys

巻, 号, ページ

Vol. 51 pp. 115202-1-4

出版年月

2012年10月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI