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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Depth Profiling of As with Various Chemical Bonding States Doped in Si Shallow Junction by Using Soft X-ray Photoelectron Spectroscopy 
著者
和文: 金原潤, 武井裕介, 宮田陽平, 野平博司, Y. Izumi, 室隆桂之, 木下豊彦, パールハットアヘメト, 角嶋邦之, 筒井一生, 服部健雄, 岩井洋.  
英文: Jun Kanehara, Yusuke Takei, Youhei Miyata, Hiroshi Nohira, Y. Izumi, TAKAYUKI MURO, 木下豊彦, パールハットアヘメト, Kuniyuki KAKUSHIMA, KAZUO TSUTSUI, takeo hattori, HIROSHI IWAI.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2013年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:G-COE PICE International Symposium and IEEE EDS Minicolloquium on Advanced Hybrid Nano Devices: Prospects by World’s Leading Scientists 
開催地
和文:東京 
英文: 

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