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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Influence of Flash Lamp Annealing on Electrical Characteristics of MOS Device with Si/ La2O3/n-Si Structure 
著者
和文: 金田翼, 幸田みゆき, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋.  
英文: Tasuku Kaneda, Miyuki Kouda, Kuniyuki KAKUSHIMA, パールハットアヘメト, KAZUO TSUTSUI, Akira Nishiyama, Nobuyuki Sugii, Kenji Natori, takeo hattori, HIROSHI IWAI.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:ECS Transactions 
巻, 号, ページ Vol. 41    No. 7    pp. 157-164
出版年月 2013年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:ECS 220th Meeting 
開催地
和文:ボストン 
英文: 
DOI https://doi.org/10.1149/1.3633295

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