低気圧放電酸素プラズマ中の励起状態密度分布と電子エネルギー分布関数

論文・著書情報

タイトル

和文:	低気圧放電酸素プラズマ中の励起状態密度分布と電子エネルギー分布関数
英文:	Excitation Kinetics of Discharge Oxygen Plasma with Low Pressure and Effect of EEDF

著者

和文:	今野潤哉, 根津篤, 松浦治明, 赤塚洋.
英文:	Junya Konno, Atsushi Nezu, Haruaki Matsuura, Hiroshi Akatsuka.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	電気学会研究会資料プラズマ・パルスパワー・放電合同研究会
英文:	The Papers of Joint Technical Meeting on "Plasma Science and Technology", "Pulsed Power Technolgy" and "Electrical Discharges", IEE Japan

巻, 号, ページ

Vol. PST-13-058〜061・063〜073 pp. 23-28

出版年月

2013年5月17日

出版者

和文:	一般社団法人電気学会
英文:	The Institute of Electrical Engineers of Japan

会議名称

和文:	電気学会プラズマ・パルスパワー・放電合同研究会
英文:	Joint Technical Meeting on "Plasma Science and Technology", "Pulsed Power Technolgy" and "Electrical Discharges", IEE Japan

開催地

和文:	長岡
英文:	Nagaoka