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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Stack structures of ALD- La2O3 and CVD-CeO2 : fabrication and mobility improvement effects 
著者
和文: 幸田みゆき, 鈴木 拓也, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 岩井洋.  
英文: Miyuki Kouda, 鈴木 拓也, Kuniyuki KAKUSHIMA, パールハットアヘメト, HIROSHI IWAI.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2012年 
出版者
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英文: 
会議名称
和文: 
英文:IEEE EDS MQ WIMNACT 32 C0-sponsored by EDS Japan Chapter and TIT 
開催地
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英文: 

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