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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Impact of Annealing Ambient for La2O3/Si Capacitor 
著者
和文: K. Tuokedaerhan, 金田翼, マイマイティ マイマイティレャアティ, 角嶋邦之, パールハットアヘメト, 筒井一生, 西山彰, 杉井信之, 名取研二, 服部健雄, 岩井洋.  
英文: K. Tuokedaerhan, Tasuku Kaneda, マイマイティ マイマイティレャアティ, Kuniyuki KAKUSHIMA, パールハットアヘメト, KAZUO TSUTSUI, Akira Nishiyama, Nobuyuki Sugii, Kenji Natori, takeo hattori, HIROSHI IWAI.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2012年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:IEEE EDS MQ WIMNACT 32 C0-sponsored by EDS Japan Chapter and TIT 
開催地
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