Development of Piezo Driven Inchworm Micro X-Y Stage and Hemispherical Tilting Positioner with Microscope Head

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Development of Piezo Driven Inchworm Micro X-Y Stage and Hemispherical Tilting Positioner with Microscope Head

著者

和文:	青山尚之, Hiroyuki Chiba, 滝澤将人, Yohei Itami, 入江優花, 平田慎之介.
英文:	Hisayuki Aoyama, Hiroyuki Chiba, Masato Takizawa, Yohei Itami, Yuuka Irie, Shinnosuke Hirata.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. 513-517

出版年月

2010年7月28日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	ICoPE2010&13th ICPE, International Conference on Precision Engineering

開催地

和文:
英文:	Singapore