Development of the miniature hemispherical tilt stage driven by stick-slip motion using piezoelectric actuators

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Development of the miniature hemispherical tilt stage driven by stick-slip motion using piezoelectric actuators

著者

和文:	白取寛明, 滝澤将人, 入江優花, 平田慎之介, 青山尚之.
英文:	Hiroaki Shiratori, Masato Takizawa, Yuuka Irie, Shinnosuke Hirata, Hisayuki Aoyama.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. 0118

出版年月

2011年11月16日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	ASPEN 2011 4th International Conference of Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology

開催地

和文:
英文:	Hong Kong